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? ? ? ?真空泵是根據一定的工作原理,用于產生、改善和維持真空環境,是直接影響真空成套設備性能質量的重要設備。在醫藥、化工、食品、電子等下游行業中,真空泵得到了廣泛的應用,其需求量很大。一般真空范圍可分為三個級別:1、粗低真空,氣壓760~10~3 Torr,主要用于食品、化工、輕工、制藥等行業。2、高真空,主要用于集成電路、半導體制造及各種鍍膜工藝、各種表面處理工藝、離子注入等。3超高真空,主要用于材料科學分析、物理現象研究、表面分析高純材料制備等。
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