傳動軸連接主動轉子,通過同步齒輪帶動從動轉子旋轉,在殼體上開有冷卻水通道,用來冷卻轉子和排氣口溫度,同步齒輪及軸承用油潤滑,軸承和殼體內部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似,一般真空泵的排氣端用機械式密封件,進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上,目前通用的是直連電機,用聯軸器與轉子連接,極少數用皮帶或者傳動鏈傳動。 等螺距螺桿泵由于無內壓縮過程,排氣溫度非常高,如冷卻效果不好,會造成轉子和機殼變形,影響抽氣效果。冷卻機殼是必不可少的一個環節,水冷是最常見的方法,在機殼本體、軸承外側通冷卻水,可以達到冷卻殼體進而冷卻轉子的目的。
螺桿真空泵是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備,它是油封式真空泵的更新換代產品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,在國內制藥、化工、半導體等對清潔真空要求較高的企業領域得到廣泛應用。