由于滑閥泵比較耐用、可靠,國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵,滑閥泵工作原理但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產滑閥泵能夠進入國際市場,必須進一步降低泵的振動噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長期運行的可靠性。
滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似,但兩者結構不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的,故稱滑閥泵。
滑閥泵亦分單級泵和雙級泵兩種,有立式和臥式兩種結構形式。單級泵的極限壓力為0.4~1.3Pa;雙級泵的極限壓力為6×10-2?~10-1?Pa。一般抽速超過150L/S的大泵都采用單級形式。這種泵可單獨使用,也可作其它泵的前級泵用。
滑閥泵的結構主要由泵體及在其內部作偏心轉動的滑閥、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等組成
雙級型的滑閥泵,實際上是由兩個單級泵串聯起來的。它的高、低真空室在同一泵體上,有的是直接鑄成一個整體,有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。
滑閥泵雖然是一種老泵,但與旋片泵等比較,它具有允許工作壓力高(104Pa)、抽氣量大、能在較惡劣環境下連續工作,經久耐用等突出優點,所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業得到廣泛的應用。